►纳米新材料：纳米碳纳米材料（石墨烯、富勒烯、碳纳米管），纳米金属及其氧化物材料（纳米金、纳米银、纳米氧化铝、纳米氧化铁等），纳米粉体材料，纳米微球，纳米涂层，纳米陶瓷，纳米复合材料，纳米生物材料，纳米光学材料，氮化镓衬底材料等。
► 微纳制造技术：纳米研磨设备，纳米微粒混合物，分散技术，薄膜制造技术，蚀刻，离子束激光处理器，电子束处理，填装充电处理，微电路制造，超精度表面加工技术，融合接合技术，下一代光刻技术，纳米压印技术，飞秒激光曝光设备，MEMS、喷墨机， NEMS，传感器，纳米电子， 光电，射流，模型，WCM。 
►纳米生物与医药：生物传感器，纳米生物材料，靶向药物释放，荧光标记、纳米诊断试剂、纳米诊断设备、纳米医药，纳米抗菌与消毒、RNA、纳米探针、人工心脏等。
► 纳米环保清洁：光触媒、纳米抗菌消毒、HVAC 系统、净化设备、纳米空气净化与水处理技术、空气净化器、空气过滤器、水处理探测与处理设备、新型环境治理技术、PM2.5 预防设备和耗材等。
►分析与检测：光学显微镜， SPM， AFM， LSI 测试探测器，超精确度测量仪器，设计工具，模拟，电子显微镜(SEM， TEM)，分子设计软件，压力平台，探针，电炉，白光干涉仪，椭偏仪，ZETA 电位分析，实验室粉体制备与检测仪器。
►先进电子材料：硅、锗等半导体材料、稀有金属材料、化合物半导体材料、介电材料、压电与铁电材料、导电金属及其合金材料、磁性材料、光电子材料、电磁波屏蔽材料电子陶瓷、高分子材料、绝缘介质材料、  压电晶体材料、电子精细化工材料、电子轻建纺（电子纺织品）、 锡焊、PCB制作材料、其它电子材料。
►第三代半导体及应用：氮化镓（GaN）和碳化硅（SiC）、氧化镓、氮化铝、金刚石等第三代半导体衬底、外延材料，光刻胶、光掩膜版、CMP抛光材料、光阻材料、湿电子化学品等半导体材料，半导体生产、封装以及其他电子专用设备，化合物半导体射频器件、功率器件、LED照明显示等上下游产业链及创新应用。